首页/ 苏州聚晶科技有限公司/ 专利详情

一种硅片单面清洗机

基本信息

申请号 CN201820036683.X 申请日 -
公开（公告）号 CN208225846U 公开（公告）日 2018-12-11
申请公布号 CN208225846U 申请公布日 2018-12-11
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 李世磊;阳军;吴会旭;李钊 申请（专利权）人 苏州聚晶科技有限公司
代理机构 苏州市指南针专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 李先锋
地址 215000 江苏省苏州市相城区太平街道聚金工业坊顺乐路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片单面清洗机，包括箱体、支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，打开送料门，手动将硅片放置在放料板上，气缸回程，当斜面推头与楔形块接触后，随着气缸回程，4件对称布置的支撑夹紧机构同时工作，弹簧复位推动楔形块沿滑轨向斜面推头移动，从而带动支撑杆移动，进而带动4件对称布置的支撑夹紧机构收缩合拢将硅片夹紧，伺服电机工作，带动与水箱固连的针型喷头移动，向水箱内泵入高压的清洗液，清洗液经针型喷头喷出对硅片进行单面清洗。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，使得冲洗均匀，提高清洗效果。