一种固定碳化硅籽晶的装置
基本信息
| 申请号 | CN202120913417.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216006087U | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN216006087U | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 皮孝东;徐所成;钟红生;王亚哲;姚秋鹏;罗昊;杨德仁 | 申请（专利权）人 | 杭州乾晶半导体有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人 | 金方玮 |
| 地址 | 311200浙江省杭州市萧山区建设三路733号信息港五期一号楼205-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种固定碳化硅籽晶的装置，包括坩埚本体以及与坩埚本体盖合的坩埚盖，所述坩埚本体上部设有活动连接的承载环与籽晶盖，所述承载环与籽晶盖用于固定籽晶；所述承载环与籽晶盖同心轴。本实用新型的装置减少了一道籽晶粘接预处理工艺，降低了从籽晶盖分离取出晶体的困难度，规避后续加工造成的一系列问题，减小了晶体中的缺陷密度，进而提高碳化硅晶体生长的效率、良率。 |
