标记碳化硅晶圆碳硅极性面的方法及对应的碳化硅晶圆
基本信息
| 申请号 | CN202111271477.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114121619A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114121619A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | H01L21/04（2006.01）I;H01L23/544（2006.01）I;H01L29/16（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张行富;宣丽英;潘胜浆 | 申请（专利权）人 | 杭州乾晶半导体有限公司 |
| 代理机构 | 杭州五洲普华专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姚宇吉 |
| 地址 | 311200浙江省杭州市萧山区建设三路733号信息港五期一号楼205-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及碳化硅晶圆制造技术领域，公开了一种标记碳化硅晶圆碳硅极性面的方法及对应的碳化硅晶圆，包括：对碳化硅晶圆外侧的定位标记的一端或两端进行加工形成倒角；当只在定位标记的一端设置倒角时，设定当倒角位于定位标记的左端或者右端时，对应的碳化硅晶圆表面为碳极性面或者硅极性面；当在定位标记的两端分别设置倒角时，设定当定位标记左端的倒角大于右边的倒角或者定位标记左端的倒角小于右边的倒角时，对应的碳化硅晶圆表面为碳极性面或者硅极性面。本发明通过在定位标记一端设置倒角或两端设置大小不同的倒角的方式区分所述碳化硅晶圆的碳极性面和硅极性面；使得能够快速的识别碳极性面和硅极性面，成功率高，简单可靠。 |
