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一种碳化硅晶圆

基本信息

申请号 CN202122627593.2 申请日 -
公开（公告）号 CN216773241U 公开（公告）日 2022-06-17
申请公布号 CN216773241U 申请公布日 2022-06-17
分类号 H01L23/544（2006.01）I;H01L29/16（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 张行富;宣丽英;潘胜浆 申请（专利权）人 杭州乾晶半导体有限公司
代理机构 杭州五洲普华专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 311200浙江省杭州市萧山区建设三路733号信息港五期一号楼205-2
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及碳化硅晶圆制造技术领域，公开了一种碳化硅晶圆，所述碳化硅晶圆的外侧包括定位标记，所述定位标记的一端或两端设有倒角；当所述定位标记的一端设有倒角时，所述倒角位于所述定位标记的左端或右端；当所述定位标记的两端都设有倒角时，所述定位标记两端倒角的半径大小不同。本实用新型通过在定位标记一端设置倒角或两端设置大小不同的倒角的方式区分所述碳化硅晶圆的碳极性面和硅极性面；使得能够快速的识别碳极性面和硅极性面，成功率高，简单可靠。