一种冷却背板及磁控溅射镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201420597869.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204529966U | 公开（公告）日 | 2015-08-05 |
| 申请公布号 | CN204529966U | 申请公布日 | 2015-08-05 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 彭柱根 | 申请（专利权）人 | 海南行佰新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 海南汉能光伏有限公司;汉能移动能源控股集团有限公司 |
| 地址 | 570125 海南省海口市龙华区滨海大道103号财富广场20层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种冷却背板，应用于磁控溅射镀膜设备中，所述冷却背板用于将冷却水和靶材相隔离，所述冷却背板与冷却水接触的表面上设置有多个凸起结构。由于所述冷却背板与所述冷却水接触的一面设置有多个凸起结构，从而导致所述冷却背板与冷却水的接触面积增大，导致所述冷却水与所述冷却背板3之间的热交互效果显著增强，使得所述靶材的温度显著降低。 |
