一种凸轮结构插板阀装置
基本信息
| 申请号 | CN202022165372.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213538093U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213538093U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李小军;张华林;唐鑫;光宣标 | 申请（专利权）人 | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 代理机构 | 深圳余梅专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陈余才 |
| 地址 | 518000广东省深圳市坪山区龙田街道兰竹东路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型为一种凸轮结构插板阀装置，涉及插板阀领域，解决了在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的问题。技术特征包括：插板阀；第一真空箱体，所述第一真空箱体安装于插板阀上。彻底解决了连续真空磁控溅射镀膜装置中内漏问题（内漏用检漏仪检测困难），将使连续真空磁控溅射镀膜线的稳定性和真空环境得到质的提升。 |
