一种用四元素合金靶材制备铜锌锡硫薄膜的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310100433.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103219420A | 公开（公告）日 | 2013-07-24 |
| 申请公布号 | CN103219420A | 申请公布日 | 2013-07-24 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐从康 | 申请（专利权）人 | 赣州优膜科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司;江苏超品光电技术有限公司;赣州优膜科技有限公司;东台市超品光电材料有限公司 |
| 地址 | 214192 江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用四元素合金圆形靶材制备铜锌锡硫薄膜的方法，该方法所用的四元素合金靶材为Cu2ZnSnS4，该方法包括如下步骤：（1）将沉积有钼层的玻璃基底板加热至300～400℃，采用溅射法，调节溅射功率至30～200W，溅射得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；（2）调节玻璃基底板的温度至400～600℃，采用溅射法，调节溅射功率至80～200W，溅射得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；（3）调节玻璃基底板的温度为400～600℃，采用溅射法，调节溅射功率至30～200W，溅射得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态，即得铜锌锡硫薄膜。 |
