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绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法

基本信息

申请号	CN201610143209.2	申请日	-
公开（公告）号	CN105624627B	公开（公告）日	2018-08-31
申请公布号	CN105624627B	申请公布日	2018-08-31
分类号	C23C14/35	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	徐从康	申请（专利权）人	赣州优膜科技有限公司
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春
地址	214192 江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法，所述绑定式磁控溅射旋转靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的靶管，所述靶管为至少一个，所述背管外壁设有开口槽，所述靶管是通过填充在开口槽内的无铟钎焊材料经旋转加热焊接固定在背管外壁的，所述靶管内壁与背管外壁间隙为0.2‑0.4mm。所述绑定式磁控溅射旋转靶材的制备方法包括如下步骤：选取背管，在背管外壁机加工开口槽，清洗烘干后水平固定到旋转设备上，在开口槽内加入无铟钎焊材料；选取靶管，对靶管内壁进行金属化处理；将处理后的靶管套到准备好的背管上；启动旋转设备，对背管内壁和靶材外壁同时加热，绑定完成后，关掉加热源，保持旋转设备工作，直至靶管冷却到室温。该方法操作简单、效率高、成本低、应用范围广，并且通过该制备方法所得靶材尺寸不受限制、利用率高。