一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011254831.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112366273A | 公开（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申请公布号 | CN112366273A | 申请公布日 | 2021-02-12 |
| 分类号 | H01L41/39(2013.01)I; | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐从康 | 申请（专利权）人 | 赣州优膜科技有限公司 |
| 代理机构 | 南昌金轩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙文伟 |
| 地址 | 341000江西省赣州市赣州经济技术开发区一期标准厂房(金岭科技园)17栋3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法，制备方法包括(1)以镍合金基带为衬底，选用或不选用特定织构化缓冲层；(2)在缓冲层上制备或不制备底电极薄膜；(3)进一步在缓冲层或底电极薄膜上外延生长未掺杂ZnO压电薄膜；(4)最后在ZnO薄膜上制备顶电极薄膜。得到的柔性ZnO薄膜电激发器：1.压电ZnO薄膜面外晶体取向为ZnO，具有极性；2.薄膜电激发器压电响应曲线为线性曲线，无电滞回线特性；3.薄膜电激发器纵向压电系数可调，数值范围为1‑50pm/V。 |
