晶圆检测定位装置
基本信息
| 申请号 | CN202023349583.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213905332U | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN213905332U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄杰勇 | 申请（专利权）人 | 深圳思谋信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周昭 |
| 地址 | 518051广东省深圳市南山区高新南九道45号三航科技大厦22楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种晶圆检测定位装置，包括：吸盘及夹具，吸盘具有吸附面，吸附面开设有能够将晶圆沿轴向吸附于吸附面且贯穿吸盘的吸附孔；夹具与吸盘相连且围设于吸附孔的外周，夹具内形成可沿径向限位晶圆的径向腔；如此，通过吸盘对晶圆施加了轴向吸附力，吸盘外围的夹具对晶圆施加了径向夹持力，轴向吸附力及径向夹持力对晶圆进行了双重定位作用，保证了晶圆检测定位装置夹持晶圆的稳定性。 |
