一种贴片式半导体气体传感器
基本信息
| 申请号 | CN201710238258.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106872532A | 公开（公告）日 | 2017-06-20 |
| 申请公布号 | CN106872532A | 申请公布日 | 2017-06-20 |
| 分类号 | G01N27/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苏静文;祁明锋;郑世琦 | 申请（专利权）人 | 苏州迈姆斯传感技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区葑亭大道598号2幢5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种贴片式半导体气体传感器，涉及传感器技术领域。采用本发明的方案能获得一种贴片式结构的半导体气体传感器，因为其芯片采用贴片式装配方式，可以在一个方向上最大限度减小尺寸，且能够更好地抵抗震动冲击。另外，其生产涉及的丝网印刷、半导体封测等工艺技术均较为成熟，成本优势明显。以此生产的产品融合了现有片式和MEMS半导体气体传感器的优点，可在性能和成本上很好的满足市场的需求。 |
