一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202110012866.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112834911B | 公开（公告）日 | 2022-05-03 |
| 申请公布号 | CN112834911B | 申请公布日 | 2022-05-03 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 尹鹏跃;张水英 | 申请（专利权）人 | 上海燧原智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区业盛路188号A-522室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质。其中，该方法包括：根据芯片中的待测试链路的仿真模型，确定待测试链路的标准电阻；根据电迁移仿真测试过程中的多组仿真测试数据确定待测试链路的失效时间计算公式；确定与待测试链路对应的多组电迁移测试条件；控制电迁移测试系统对与待测试链路对应的电迁移测试样品进行电迁移测试，得到与各组电迁移测试条件对应的测试样品失效时间；根据各组电迁移测试条件中的预期失效时间与所对应的测试样品失效时间的比对结果，确定待测试链路的电迁移测试结果。本发明实施例可以对芯片中的链路进行电迁移测试，确定芯片中各链路的整个链路结构的电迁移实际情况。 |
