一种用于蒸镀设备的基板承载装置
基本信息
| 申请号 | CN202021334014.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213113482U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213113482U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张志宏;卞徐龙;卞小通;卞荣伟 | 申请（专利权）人 | 江苏三房巷薄膜股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙燕波 |
| 地址 | 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇海伦路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于蒸镀设备的基板承载装置，涉及蒸镀技术领域。本实用新型包括一组滑移架，滑移架内固定有双向丝杆机构，两滑移架之间的两端均传动连接有拉持组件，拉持组件一侧设有夹持组件，夹持组件包括L形板，L形板顶部并排固定有若干横板。本实用新型通过设置一组夹持组件能够夹持基板本体和掩膜板的两侧，通过滑移架、双向丝杆机构和拉持组件的配合能够调节两个夹持组件之间的距离，从而能够拉紧基板本体和掩膜板，同时在拉持组件和夹持组件之间设置直杆、弹簧、垫环和滑动套，能够保证两个拉持组件之间的拉持力，解决了现有的承载结构不利于基板和掩膜板平整固定的问题。 |
