一种纳米压印模具

基本信息

申请号 CN201720574235.0 申请日 -
公开(公告)号 CN206833140U 公开(公告)日 2018-01-02
申请公布号 CN206833140U 申请公布日 2018-01-02
分类号 G03F7/00(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 王笑;刘建哲;潘安练;褚君尉;朱小莉;祝小林;徐良 申请(专利权)人 黄山博蓝特光电技术有限公司
代理机构 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 代理人 黄山博蓝特光电技术有限公司
地址 245000 安徽省黄山市迎宾大道168号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种纳米压印模具,包括上滚轮和下滚轮,所述上滚轮为石英材质的滚轮,所述上滚轮的中心设置有安装孔,安装孔内设置有紫外光源,沿紫外光源的发光方向设置有微透镜,所述上滚轮的表面包覆有一层柔性压印模板;所述下滚轮为橡胶材质的滚轮,上滚轮和下滚轮间留有间隙,上滚轮和下滚轮的转动方向相反,转动线速度相同。本实用新型实现了压印和固化的同步完成,解决了传统技术先压印再固化,搬运过程中衬底片容易受到污染,表面颗粒物增加,导致产品良率低,返工率较高的问题,同时,也大大减小了设备的占地面积和成本。可广泛应用于纳米压印领域。