一种纳米压印模具
基本信息
申请号 | CN201720574235.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206833140U | 公开(公告)日 | 2018-01-02 |
申请公布号 | CN206833140U | 申请公布日 | 2018-01-02 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 王笑;刘建哲;潘安练;褚君尉;朱小莉;祝小林;徐良 | 申请(专利权)人 | 黄山博蓝特光电技术有限公司 |
代理机构 | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 黄山博蓝特光电技术有限公司 |
地址 | 245000 安徽省黄山市迎宾大道168号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种纳米压印模具,包括上滚轮和下滚轮,所述上滚轮为石英材质的滚轮,所述上滚轮的中心设置有安装孔,安装孔内设置有紫外光源,沿紫外光源的发光方向设置有微透镜,所述上滚轮的表面包覆有一层柔性压印模板;所述下滚轮为橡胶材质的滚轮,上滚轮和下滚轮间留有间隙,上滚轮和下滚轮的转动方向相反,转动线速度相同。本实用新型实现了压印和固化的同步完成,解决了传统技术先压印再固化,搬运过程中衬底片容易受到污染,表面颗粒物增加,导致产品良率低,返工率较高的问题,同时,也大大减小了设备的占地面积和成本。可广泛应用于纳米压印领域。 |
