一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202110980095.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113720276B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN113720276B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G01B11/26（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蒋杰臣;孙亮;姜维春;徐玉朋;何会林;刘小桦;李鲜;杜园园;杨生;刘晓静;杨家卫;董泽芳 | 申请（专利权）人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100049北京市石景山区玉泉路19号乙 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统。本方法为：1）将芯片模块固定在三维影像测量仪上；2）在芯片模块上确定出芯片的安装位置；3）在芯片模块的陶瓷边框上选择N个点，芯片上表面选择M个点；4）导出各所选点的三维坐标到数据处理单元，生成陶瓷边框的拟合面；5）以拟合面作为基准面，计算出芯片上每一所选点相对于基准面的距离；6）如果芯片上各所选点相对于该基准面的距离均为正值或负值，则找出一距离绝对值最小值，将芯片上各所选点对应的距离与该最小值的差值，作为对应点需要调节的幅度值；否则找出距离大于0的点中最大距离值，将芯片上各所选点对应的距离与该最大距离的差值，作为对应点调节的幅度值。 |
