一种蓝宝石生长炉
基本信息
申请号 | CN201120170305.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202081191U | 公开(公告)日 | 2011-12-21 |
申请公布号 | CN202081191U | 申请公布日 | 2011-12-21 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 吕铁铮 | 申请(专利权)人 | 捷策节能科技(苏州)有限公司 |
代理机构 | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 李高峡 |
地址 | 610213 四川省成都市双流华阳滨河路三段府河音乐花园26-7-1 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种蓝宝石生长炉,它包括真空炉壳、坩埚、加热装置、籽晶固定装置、惰性气体循环系统、真空装置;其中,加热装置位于真空炉壳的底部,坩埚置于加热装置包围的空间内;籽晶固定装置位于坩埚的正上方,用于固定籽晶;惰性气体循环系统为一个独立的气体循环系统,其底部与籽晶的顶部相接;真空装置与真空炉壳密闭连接。本实用新型解决了泡生法不易引晶以及晶体生长过程中晶体方向及长晶速率不易控制的缺陷,又克服了热交换法中晶体生长情况无法观测及能耗相对较高的缺点。 |
