一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质

基本信息

申请号	CN202010746893.X	申请日	-
公开（公告）号	CN111910245B	公开（公告）日	2021-10-22
申请公布号	CN111910245B	申请公布日	2021-10-22
分类号	C30B15/22	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	李宗飞;钱龙;谭明科;白喜军;刘永生	申请（专利权）人	华坪隆基硅材料有限公司
代理机构	北京知迪知识产权代理有限公司	代理人	王胜利
地址	674800 云南省丽江市华坪县石龙坝镇清洁载能产业园区
法律状态	-

摘要

本发明公开一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质，涉及晶体生长技术领域，以实现拉晶尾部工艺自动化，提高生长晶棒的品质。该拉晶尾部控制方法包括：接收当前晶段生长关联参数和当前工步关联参数；根据当前工步关联参数，确定当前生长晶段的晶段段数；根据晶段段数从预设关系中确定当前晶段对应的目标生长关联参数；预设关系为各个晶段的目标生长关联参数与晶段段数的对应关系；确定当前晶段生长关联参数满足目标生长关联参数的情况下，若晶段段数小于预设段数，控制拉晶设备进行当前晶段收尾作业；若晶段段数等于预设段数，控制拉晶设备进行停炉作业。所述系统用于执行所述拉晶尾部控制方法。本发明提供的拉晶尾部控制方法用于晶体生长。