一种激光检测晶片应力装置
基本信息
申请号 | CN201810745136.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108801610A | 公开(公告)日 | 2018-11-13 |
申请公布号 | CN108801610A | 申请公布日 | 2018-11-13 |
分类号 | G01M11/08 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 朱中晓;朱超 | 申请(专利权)人 | 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司 |
代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人 | 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司 |
地址 | 459000 河南省焦作市济源市科技工业园区石晶光电济源分公司(丰田路南端) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种激光检测晶片应力装置,主要针对人造光学石英晶体抛光片。它包括激光光源、目镜、成像板、可调支具座组成,优点在于使用激光光源,借助放大目镜和成像板,组成成像光路系统。利用光的直射和散射、光学石英晶体双折射特性的原理,一定光强的激光束照射晶体抛光片后,通过目镜放大并将内部质量状态放大投影在成像板上,能快速、准确地对人造光学石英晶体抛光片的应力状况在成像板上进行检测和判断,实现了非接触式检测,直观地达到了检测效果,克服了自然光下无法检测的弊病。 |
