单晶硅的清洗装置

基本信息

申请号 CN201520391358.1 申请日 -
公开(公告)号 CN204672614U 公开(公告)日 2015-09-30
申请公布号 CN204672614U 申请公布日 2015-09-30
分类号 B08B3/10(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 钟平 申请(专利权)人 宁波科论太阳能有限公司
代理机构 杭州斯可睿专利事务所有限公司 代理人 宁波科论太阳能有限公司
地址 315111 浙江省宁波市鄞州区五乡镇工业园区(宁波科论太阳能有限公司)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型所公开的一种单晶硅的清洗装置,单晶硅清洗炉为圆柱型结构,在单晶硅清洗炉内设有清洗剂,在单晶硅清洗炉的底部设有内凹台,在单晶硅清洗炉内设有作为转子的单晶硅搅拌支架,且所述的单晶硅搅拌支架底部设有与内凹台配合的内凹槽,单晶硅搅拌支架以内凹槽的上槽壁为分割点将单晶硅搅拌支架3分成上半部和下半部,上半部为筛状结构,下半部内嵌有绕内凹槽环形分布的磁铁,在单晶硅清洗炉的内凹台外设有作为定子的电磁线圈,在电磁线圈上连接有电源,在单晶硅清洗炉内凹台上设有限位轴,且上述的单晶硅搅拌支架转动套接在限位轴上。本实用新型在清洗过程中能够更好的清洗硅片,清洗完成后快速沥干清洗剂,从而提高硅片清洗效果及产品的成品率。