一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备及其控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201810765737.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108823536B | 公开（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申请公布号 | CN108823536B | 申请公布日 | 2020-07-03 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/54 | 分类 | - |
| 发明人 | 韩斌 | 申请（专利权）人 | 苏州亮磊知识产权运营有限公司 |
| 代理机构 | 绍兴市寅越专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 绍兴欣耀机电科技有限公司;苏州亮磊知识产权运营有限公司 |
| 地址 | 312030 浙江省绍兴市柯桥区福全街道胜利村畈里张389-1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备及其控制方法，其中，真空蒸镀设备包括第一蒸镀腔、设置于第一蒸镀腔内的第一蒸发源以及基板，还包括气压传感器、单片机、驱动电机及设置在基板下方且覆盖基板的蒸镀面的管阵，管阵由若干导向管组成，气压传感器与导向管的数量相同，导向管包括固定管以及套设在固定管内部的活动管，固定管内设置有用于控制活动管沿着导向管的轴向水平移动的控制装置，气压传感器设置在固定管的开口处且与单片机连接，单片机与驱动电机连接，驱动电机与控制装置连接；本发明使原材料均匀在基板上镀膜，并且避免原材料蒸镀到蒸镀腔壁，提高原材料利用率。 |
