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一种具有断轴监控功能的去胶装置

基本信息

申请号 CN201920633439.6 申请日 -
公开（公告）号 CN209708954U 公开（公告）日 2019-11-29
申请公布号 CN209708954U 申请公布日 2019-11-29
分类号 H01L21/67（2006.01） 分类 基本电气元件;
发明人 翁林 申请（专利权）人 中国农业银行股份有限公司无锡科技支行
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 无锡宇邦半导体科技有限公司
地址 214000 江苏省无锡市新吴区景贤路52号乐东大厦内1层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种具有断轴监控功能的去胶装置，包括底板，底板上端面设置有支撑板，第一支撑板顶部连接有去胶腔体，托环轴杆由去胶腔体底部穿出；第一支撑板下端内侧面设置有步进马达，其电机轴通过联轴器连接有第一丝杆，上端连接有第一滑块，托环轴杆下端外侧与第一滑块连接，内侧设置有第一感应器挡片；第二支撑板内侧面设置有第二丝杆，第二丝杆下端与电机轴同步传动连接，上端连接有第二滑块，第二滑块内侧面设置有第二感应器挡片；去胶腔体下端面设置有固定杆，固定杆上设置有下降位置感应器和上升位置感应器。本实用新型提供的具有断轴监控功能的去胶装置，能够及时发现联轴器断裂情况并进行停机处理，保护晶圆安全，降低生产损失。