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一种面板缺陷检测装置及检测方法

基本信息

申请号 CN202110958739.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113533351A 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN113533351A 申请公布日 2021-10-22
分类号 G01N21/88;G01N21/958 分类 测量；测试;
发明人 杨朝兴 申请（专利权）人 合肥御微半导体技术有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 侯军洋
地址 230088 安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种面板缺陷检测装置及检测方法。其中装置包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块及处理模块，光源模块包括多个平行设置的线状光源，光阑模块包括多个平行设置的透光区；线状光源用于出射检测光线，检测光线经过分束模块后入射至聚焦模块，聚焦模块用于将检测光线汇聚在待测面板的表面，返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区；成像模块的感光面朝向透光区，用于将接收到的光信号转换为电信号；处理模块与成像模块电连接，用于根据电信号检测待测面板的表面缺陷。本发明实施例的技术方案，可以降低面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高面板生产检测的速度。