一种表面缺陷的检测系统及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110958746.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113533352A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113533352A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G01N21/88（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 倪赛健 | 申请（专利权）人 | 合肥御微半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 侯军洋 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种表面缺陷的检测系统及检测方法，检测系统包括光源、光路切换模块、分光模块、探测模块和处理模块；设置光路切换模块包块光阑和遮光板，探测模块根据处理模块的光路切换信号控制光阑或遮光板位于检测光束的传播路径上，以使检测光束透过光阑形成明场检测光束；或者，控制遮光板遮挡检测光束形成暗场检测光束；设置分光模块反射明场检测光束和暗场检测光束至待测物表面以及透过经待测物表面反射的明场检测光束和暗场检测光束至探测模块；探测模块采集待测物的明场图像和暗场图像；处理模块根据眀场图像和/或暗场图像检测待测物的表面缺陷。本发明实现仅用一套光源和探测模块采集图像，系统结构简单，成本低。 |
