首页/ 合肥御微半导体技术有限公司/ 专利详情

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法

基本信息

申请号 CN202110959661.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113533353A 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN113533353A 申请公布日 2021-10-22
分类号 G01N21/88;G01N21/95 分类 测量；测试;
发明人 张鹏黎 申请（专利权）人 合肥御微半导体技术有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 侯军洋
地址 230088 安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种缺陷检测装置及缺陷检测方法，缺陷检测装置包括光源、第一透镜组、光程补偿器组、第二透镜组和探测器；光程补偿器组包括至少一个光程补偿器；光源出射的检测光束经待测物的表面反射形成反射光束，设置光程补偿器位于第一透镜组对待测物的表面成像的焦深范围内；沿反射光束的传播方向，光程补偿器的厚度呈不均匀分布，光程补偿器可以补偿待测物的弧面引起的反射光束的光程差，使得补偿光程差后的反射光束经第二透镜聚焦成像在同一焦平面内，探测器采集第二透镜形成的清晰像。本装置解决了现有光学成像系统对不平整表面以及有较大弧度的表面的待测材料难以准确识别和定位，难以获得清晰的图像的技术问题。