利用金刚线切割废硅粉生产2N级低硼硅技术及工艺集成

基本信息

申请号 CN201810238913.5 申请日 -
公开(公告)号 CN108373157A 公开(公告)日 2018-08-07
申请公布号 CN108373157A 申请公布日 2018-08-07
分类号 C01B33/037 分类 无机化学;
发明人 刘应宽;温卫东;马晓林;李洋;王波;邓发;郑德;苏静 申请(专利权)人 宁夏东梦能源股份有限公司
代理机构 宁夏合天律师事务所 代理人 杨丽坤;孙彦虎
地址 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区开元西路中小企业创业园20号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 一种利用金刚线切割废硅粉生产2N级低硼硅技术及工艺集成,包括以下步骤,气流分级:将金刚线切割产生的废硅粉烘干后作为原料,利用气流分级机将粒径为0.1~10um的硅粉收集,所收集的硅粉即为低硼硅粉;制坯并真空烘干:将低硼硅粉与纯水混合,得到泥料,将泥料制坯后放入烘箱中真空烘干,得到干燥坯料;真空烧结:将得到的干燥坯料在烧结炉内进行高温烧结,得到2N级低硼硅。采用的工艺彻底告别以往的酸液清洗工艺,物理法分离能有效的保证硅粉的纯度及后期提纯产出率,采用烧结法对硅粉进行固化,工艺路线紧凑,杜绝了二次污染。