用于KDP类晶体的油浴退火炉

基本信息

申请号 CN201710576931.X 申请日 -
公开(公告)号 CN107475776B 公开(公告)日 2019-07-16
申请公布号 CN107475776B 申请公布日 2019-07-16
分类号 C30B33/02;C30B29/14 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 齐红基;陈端阳;邵建达;谢晓义;王琤;王明明;高杰;赵波;张辉;郑丽丽 申请(专利权)人 杭州锐研科技有限公司
代理机构 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 中国科学院上海光学精密机械研究所;杭州锐研科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于KDP类晶体的油浴退火炉,包括保温筒、保温盖,在保温筒内设有内筒,在保温筒的内壁上安装有加热器,在内筒内设有晶体支撑板,还包括搅拌叶轮和固定在所述的保温盖上的搅拌电机,该搅拌叶轮由搅拌电机带动,在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环,保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道,内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连,出油管的出油端与油泵的进口连接,在出油管旁边安装进油管,进油管的进油端与油泵的出口相连,进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性,试验结果表明,待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.05℃以内,可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。