用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉
基本信息
| 申请号 | CN201710576936.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107475777A | 公开（公告）日 | 2017-12-15 |
| 申请公布号 | CN107475777A | 申请公布日 | 2017-12-15 |
| 分类号 | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/14(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 齐红基;陈端阳;邵建达;谢晓义;王琤;王明明;高杰;赵波;张辉;郑丽丽 | 申请（专利权）人 | 杭州锐研科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;杭州锐研科技有限公司 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区清河路390号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，包括保温筒、保温盖，在保温筒内设有内筒，在保温筒的内壁上安装有加热器，在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环，保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道，内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连，出油管的出油端与油泵的进口连接，在出油管旁边安装进油管，进油管的进油端与油泵的出口相连，进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性，待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.1℃以内，可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。 |
