一种运动装置及工作平台
基本信息
| 申请号 | CN202120737306.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214428605U | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN214428605U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 | 申请（专利权）人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 胡彬 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种运动装置及工作平台，涉及集成电路制造技术领域。该运动装置包括座体、垂向运动机构和旋转运动机构，垂向运动机构设置于座体内，且能够沿座体的高度方向上下运动；旋转运动机构设置于垂向运动机构内，旋转运动机构能够相对垂向运动机构旋转，且能够在垂向运动机构的带动下沿座体的高度方向上下运动。本实用新型提供的运动装置，将垂向运动机构设置于座体内，并沿座体的高度方向上下运动，垂向运动机构的垂向行程可根据需求设置，满足了垂向运动的长行程需求。将旋转运动机构设置于垂向运动机构内，使得旋转运动机构不占用运动装置的垂向空间，满足运动装置的扁平化设计。 |
