一种集成双向驱动的微动台及运动装置
基本信息
| 申请号 | CN202110829557.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113446486A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113446486A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | F16M11/06（2006.01）I;F16M11/24（2006.01）I;G01B5/06（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 袁嘉欣;江旭初;彭仁强 | 申请（专利权）人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 陈宏 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种集成双向驱动的微动台及运动装置。微动台包括：安装基座；垂向底座，可沿Z向移动地设置于安装基座上，且在Rz向上的位置相对安装基座不变；旋转座，可在Rz方向转动地套设于垂向底座，且在Z向上的位置相对垂向底座不变；双向驱动装置，包括同轴且沿Z向并排设置的垂向电机组件和旋转电机组件，垂向电机组件与旋转电机组件均与旋转座同轴套设，垂向电机组件用于驱动旋转座和垂向底座沿Z向相对安装基座移动，旋转电机组件用于驱动旋转座绕Z向相对安装基座和垂向底座转动。运动装置包括上述的微动台。本发明公开的微动台和运动装置，有利于实现微动台及运动装置的轻量化和扁平化设计。 |
