一种磁悬浮旋转运动装置
基本信息
| 申请号 | CN202110710564.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113422539A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113422539A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | H02N15/00（2006.01）I | 分类 | 发电、变电或配电; |
| 发明人 | 胡兵;陈懋毓 | 申请（专利权）人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 陈宏 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体集成电路装备技术领域，公开一种磁悬浮旋转运动装置。其中磁悬浮旋转运动装置包括磁悬浮转子机构、磁悬浮定子机构和测量机构，磁悬浮转子机构包括同轴设置的姿态调整转子组件和旋转转子组件；磁悬浮定子机构包括同轴设置的姿态调整定子组件和旋转定子组件，姿态调整定子组件在竖直方向对应于姿态调整转子组件，姿态调整定子组件设置为能够驱动姿态调整转子组件进行悬浮姿态调整；旋转定子组件对应于旋转转子组件，旋转定子组件设置为能够驱动旋转转子组件进行悬浮旋转；测量机构设置为对磁悬浮转子机构进行悬浮状态测量和旋转状态测量。 |
