一种双向驱动装置及微动台
基本信息
申请号 | CN202110829118.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113460662A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113460662A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | B65G47/82(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I | 分类 | 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料; |
发明人 | 彭仁强;胡兵;江旭初;袁嘉欣 | 申请(专利权)人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 陈宏 |
地址 | 200135上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明属于驱动技术领域,具体公开了一种双向驱动装置及微动台。双向驱动装置包括:第一安装架,具有第一安装面;第二安装架,具有第二安装面;轴向电机组件,包括安装于第一安装面的轴向电机线圈机构和安装于第二安装面的轴向电机磁体机构,用于驱动第二安装架相对第一安装架沿轴线方向平移;旋转电机组件,包括安装于第二安装面的旋转电机磁体机构和安装于第一安装面的旋转电机线圈机构,驱动第二安装架相对第一安装架绕轴线方向转动,旋转电机组件与轴向电机组件在轴线方向上同轴且并排设置。微动台包括上述的双向驱动装置。本发明提供的双向驱动装置和微动台,能够提高驱动的集成性,降低驱动成本,有利于微动台的扁平化和轻量化设置。 |
