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平台移动装置

基本信息

申请号 CN202110608113.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113315411A 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN113315411A 申请公布日 2021-08-27
分类号 H02N2/02（2006.01）I 分类 发电、变电或配电;
发明人 左蕾;王振华;黄孝山;许良 申请（专利权）人 上海隐冠半导体技术有限公司
代理机构 上海上谷知识产权代理有限公司 代理人 陈程;蔡继清
地址 200135上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种平台移动装置。本发明中，平台移动装置包括：底板；基座，设置在底板的上方；至少三个尺蠖电机，用于驱动基座，以带动位于基座上方的平台移动；尺蠖电机设置在底板上，且尺蠖电机中至少三个不共线；各尺蠖电机的输出方向一致；以及，至少三个压电陶瓷致动器，用于驱动平台；压电陶瓷致动器与基座相连，且压电陶瓷致动器中至少三个不共线；各压电陶瓷致动器的输出方向与尺蠖电机的输出方向相同。与现有技术相比，使得可在真空、无磁条件中使用，且满足大行程位移量和微米级、纳米级位移调整。