一种微动台及运动装置
基本信息
| 申请号 | CN202110830550.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113421847A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113421847A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;G01B21/08（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 袁嘉欣;江旭初;吴火亮;彭仁强 | 申请（专利权）人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 陈宏 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种微动台及运动装置。微动台包括：安装基座；垂向驱动装置，安装于安装基座上；垂向底座，套设在垂向驱动装置的外侧，垂向驱动装置的驱动端驱动垂向底座相对安装基座沿Z方向运动；旋转座，可绕Z方向旋转地套设在垂向底座上，且在Z方向上的位置相对垂向底座不变；旋转驱动电机，套设在旋转座的侧面，用于驱动旋转座绕Z方向转动，旋转驱动电机包括同轴间隔套设的旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机动子相对旋转座固定，旋转电机定子相对安装基座固定。运动装置包括上述的微动台。本发明公开的微动台和运动装置，有利于实现微动台及运动装置的轻量化和扁平化设计。 |
