磁浮重力补偿装置和微动台
基本信息
| 申请号 | CN202110804356.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113471112A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113471112A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 彭仁强;胡兵;江旭初;龚威;陈懋毓 | 申请（专利权）人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海上谷知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡五荣 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磁浮重力补偿装置和微动台，磁浮重力补偿装置，包括：内基磁体、第一端部磁钢、第二端部磁钢、内磁环磁钢和外线圈，其中，内基磁体沿轴向延伸；第一端部磁钢和第二端部磁钢分别位于内基磁体的两个轴向端并沿轴向延伸，且第一端部磁钢和第二端部磁钢的外径分别沿远离内基磁体的两个轴向端方向逐渐增大；内磁环磁钢呈筒状，且与内基磁体同轴地位于内基磁体外；外线圈与内基磁体同轴地位于内磁环磁钢外，外线圈相对内基磁体、第一端部磁钢和第二端部磁钢固定。由于包括外线圈，通过控制外线圈内电流的方向和大小，可以控制整个磁浮重力补偿装置在克服工件台的重力和柔性机构的弹力后的输出力，满足微动台的高运动性能要求。 |
