吸附机构及吸附系统
基本信息
| 申请号 | CN202110708390.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113410174A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113410174A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴火亮;江旭初;徐腾肖;董亚聪 | 申请（专利权）人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海上谷知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈程;蔡继清 |
| 地址 | 200135上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种吸附机构及吸附系统。本发明中，吸附机构包括：吸盘，吸盘内开设有第一气道和第二气道，且吸盘的底部开设有与第一气道相通的进气孔；吸盘内还设有与第二气道相通且贯穿吸盘的顶部的走气通道；交接装置，交接装置设置在吸盘中；交接装置具有支撑杆，且支撑杆用于在第一气道内通入气体时被气体顶出吸盘的顶部；以及；单向控制阀，设置在吸盘内，连接第一气道和第二气道；其中单向控制阀用于在第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出第一气道内气体时打开。与现有技术相比，使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动中无线缆干扰，可实现大角度旋转。 |
