一种可调光学相位阵列的制作方法及可调光学相位阵列

基本信息

申请号 PCT/CN2019/109092 申请日 -
公开(公告)号 WO2021056545A1 公开(公告)日 2021-04-01
申请公布号 WO2021056545A1 申请公布日 2021-04-01
分类号 G02F1/11;G02F1/01 分类 光学;
发明人 ZHANG, ZHONGXIANG;张忠祥 申请(专利权)人 深圳力策科技有限公司
代理机构 - 代理人 SHENZHEN ZHONGYI UNION INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.;深圳中一联合知识产权代理有限公司
地址 Room 802, Block A, National Engineering Lab Building,Digital Technology Park, Gaoxin South 7th Road, District of High-Tech Industrial Park, Nanshan District,Shenzhen, Guangdong 518000 CN
法律状态 -

摘要

摘要 一种可调光学相位阵列的制作方法及可调光学相位阵列,可调光学相位阵列包括:衬底层(10)、分布式布拉格反射器(20)、支撑层(30)、压电层(40)、天线阵列(60)以及用于对相位控制信号与表面波进行相互转换的换能器模块(50);采用天线阵列(60)与分布式布拉格反射器(20)形成法布里珀罗谐振腔,通过换能器模块(50)将信号源输出的相位控制信号转换为表面波,并通过压电层(40)将表面波传导至天线阵列(60)中,以使法布里珀罗谐振腔产生对应的振荡,从而对天线阵列(60)的出射相位进行调节,达到对光束进行操控的目的。