一种籽晶杆
基本信息
| 申请号 | CN201120004747.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201962422U | 公开（公告）日 | 2011-09-07 |
| 申请公布号 | CN201962422U | 申请公布日 | 2011-09-07 |
| 分类号 | C30B35/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李红军;于海欧;徐军;陈伟超;唐慧丽;钱小波 | 申请（专利权）人 | 中科协鑫（苏州）工业研究院有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 中科协鑫（苏州）工业研究院有限公司;苏州协鑫工业应用研究院有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新技术产业开发区昆仑山路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种籽晶杆，包括上称重和杆芯，上称重与杆芯连接，在杆芯外设有外套筒，且外套筒与上称重无连接；所述外套筒为中空结构，且外套筒上设有进水口和出水口；所述外套筒中的循环冷却水自进水口流入，再经出水口流出。本实用新型具有以下优点：1)装置简单，成本低，减少了工作量；2)冷却效果好，同时提高了称重系统检测晶体质量的准确性；3)在不影响晶体质量检测的情况下，优化了晶体生长工艺，易实现生长系统的自动化。 |
