顶部籽晶热交换法生长蓝宝石晶体

基本信息

申请号 CN201820505891.X 申请日 -
公开(公告)号 CN208517586U 公开(公告)日 2019-02-19
申请公布号 CN208517586U 申请公布日 2019-02-19
分类号 C30B29/20;C30B11/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 何明珠;杭寅;朱影;张连翰;蔡双;徐民;潘世烈;赵兴俭;韦建 申请(专利权)人 新疆紫晶光电技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐高新区北区工业园净水路999号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种顶部籽晶热交换法生长蓝宝石晶体,它主要包括一个筒形钨加热器,其上方有一个可升降的热交换器,经氦气压缩机压缩后的氦气在热交换器内进行循环流动,在晶体生长时通过工艺要求可对压缩气体的压力及流量进行调整并通过调整热交换杆的位置使籽晶更好的与坩埚内的熔料进行结合;热交换杆下端带有一个夹头,其上装有籽晶。热交换器可完成籽晶的固定、晶体的转动和提拉。用钼制坩埚,保温系统为钨保温层。外接光电高温计,监测炉内温度变化。晶体生长过程中加热功率和热交换器中的氦气流量分别由可编程自动控制系统独立控制。使用上述装置生长蓝宝石晶体的方法主要包括:熔料、引晶、晶体生长初期、降温生长。