一种泡生法蓝宝石生长热场装置

基本信息

申请号 CN201910869021.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112501686A 公开(公告)日 2021-03-16
申请公布号 CN112501686A 申请公布日 2021-03-16
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 何明珠;杭寅;张连翰;蔡双;朱影;潘世烈;赵兴俭;韦建 申请(专利权)人 新疆紫晶光电技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐高新区北区工业园净水路999号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉的温场结构和设计,旨在提供一种性能更加优异的热场,应用于生长更大尺寸蓝宝石晶体,该装置主要包括炉体、坩埚、上反射屏、侧反射屏、加热器等主体部件。通过加热器、上反射屏、侧反射屏、坩埚及下反射屏的合理布局,使坩埚内温场呈现中心温度低、边缘温度高的连续分布,适合生长高质量、大尺寸的蓝宝石晶体。