一种ALD前驱体的合成系统
基本信息
| 申请号 | CN202121458405.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214915953U | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN214915953U | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | B01J19/00（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 周健;娄夏冰 | 申请（专利权）人 | 苏州源展材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴竹慧 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12栋4楼401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种ALD前驱体的合成系统，包括预处理装置、反应环路和接收装置；所述预处理装置位于反应环路的上方；所述反应环路通过反应管与预处理装置连通，以将预处理后的物料传输至反应环路进行反应；所述反应环路上连接有脱溶组件以对反应环路中的物料进行脱溶；所述接收装置位于反应环路的下方，所述接收装置通过连接管与反应环路连通，以使脱溶后的物料落入所述接收装置中。其能够针对ALD前驱体进行可连续化的合成，自动化程度较高；物料在反应环路内循环并反应，反应后形成的产品能够直接落入接收装置中，生产安全，可实现随开随用的连续化生产。 |
