一种ALD前驱体钛配合物的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111045360.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113493476B | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN113493476B | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | C07F7/28（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 陈鹏宇 | 申请（专利权）人 | 苏州源展材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏张林 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12栋4楼401-177 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种ALD前驱体钛配合物的制备方法，包括以下步骤：（1）将2,2,6,6‑四甲基‑3,5‑庚二酮、四氯化钛与有机溶剂混合均匀，滴入有机胺，在搅拌的条件下发生反应；（2）反应结束后，向反应液中滴加异丙醇，搅拌后过滤，去除沉淀物；（3）减压蒸干滤液，即得到所述ALD前驱体钛配合物。本发明的工艺操作条件便利，一锅法得到目标产物；反应过程平和，无需加热，能耗低，安全性高；原料来源广泛便宜，产物收率高，工艺稳定性好；反应过程中没有引入其他金属元素（钛除外），得到的产品金属纯度高，符合ALD技术的要求。 |
