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一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置

基本信息

申请号 201910324233X 申请日 -
公开（公告）号 CN110164813B 公开（公告）日 2019-08-23
申请公布号 CN110164813B 申请公布日 2019-08-23
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 蔡光达;付宇;刘宇峰;吴朝;王满;王瑜辉 申请（专利权）人 湖北华威科智能股份有限公司
代理机构 武汉华旭知识产权事务所 代理人 刘天钰
地址 436070湖北省鄂州市葛店开发区建设大道特1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动。该装置结构简单，在不额外增加研发成本，以及保持原有的效率情况下，能够快速的完成8吋和12吋的wafer晶圆夹持进给机构的切换，并完成8吋(12吋)wafer晶圆夹持进给机构在X和Y两个方向的精准运动。