一体化研磨抛光装置
基本信息
申请号 | CN201821406562.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209021843U | 公开(公告)日 | 2019-06-25 |
申请公布号 | CN209021843U | 申请公布日 | 2019-06-25 |
分类号 | B24B25/00(2006.01)I; B24B27/00(2006.01)I; B24B41/02(2006.01)I; B24B45/00(2006.01)I | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 郑学斌; 刘子娟; 姜国圣; 吴化波; 张琼美 | 申请(专利权)人 | 长沙升华微电子材料有限公司 |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 长沙升华微电子材料有限公司 |
地址 | 410600 湖南省长沙市宁乡金洲新区澳洲路068号恩吉创业园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一体化研磨抛光装置,包括工作台、驱动机构和研磨机构,所述工作台上设有高度调节机构,所述驱动机构设于所述工作台上,所述研磨机构包括研磨盘、圆箍、抛光布和套环。本实用新型提供的一体化研磨抛光装置,在研磨功能的基础上,通过在研磨盘上增加铺设抛光布,即可用于抛光,在一台设备上实现了研磨和抛光两种功能,工件研磨或抛光时,无需人工手持工件,解决了现有技术中,手持工件进行操作时,工件易飞出的安全隐患,可以根据需要,方便地更换不同型号类型的研磨盘和抛光布,操作简便,适用范围广,还可以根据工件的大小和厚薄,选择加装圆形卡盘,以稳定工件,提升研磨和抛光效果。 |
