一种光电零部件的超净干燥处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202111622529.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114526596A | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN114526596A | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | F26B20/00（2006.01）I;F26B5/08（2006.01）I;F26B3/02（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 辛长林;阚云峰 | 申请（专利权）人 | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 代理机构 | 合肥岸蓝坡知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 247100安徽省池州市直属园区经济技术开发区金安园区金同路69号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光电零部件的超净干燥处理装置，具体涉及光电零部件加工技术领域，包括底框，所述底框的顶端固定安装有底板，所述底板的顶端固定安装有防护框，所述防护框的内壁顶部设有输料组件，所述底板的顶端两侧分别固定安装有第一导料组件和第二导料组件，所述底板顶端靠近第一导料组件的一侧固定安装有清洁组件，所述底板顶端靠近第二导料组件的一侧固定安装有干燥组件，本发明，通过设置输料组件并配合使用第一导料组件和第二导料组件，对多个光电零部件进行依次间歇性自动进料，并对多个光电零部件依次进行自动间歇性运输，以便后续对光电零部件进行清洁和干燥，从而提升了整个装置对光电零部件的处理效率。 |
