一种晶圆高效清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202111621743.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114653704A | 公开（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申请公布号 | CN114653704A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
| 分类号 | B08B11/00（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 辛长林;刘洪刚 | 申请（专利权）人 | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 代理机构 | 合肥岸蓝坡知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 247100安徽省池州市直属园区经济技术开发区金安园区金同路69号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆高效清洗设备，属于清洗设备技术领域，集中进行清洗，容易造成清洗范围广，导致清洗不够均匀，而逐一进行清洗又同时难以实现快速、有效的自动化清洗过程，包括安装架，安装架上端固定安装有酸洗组件，单一的晶圆通过放置环形夹具内，然后通过传送带装置依次经过酸洗、两次水洗，最后再烘干的过程，实现快速、自动化清洗过程；电机带动拨杆、环形圈连续转动，通过间歇盘使分隔盘作间歇性的转动，从而通过弧形逐一将夹模进行短暂时间的驻停，电机带动凸轮转动，使L形推杆带动多轴毛刷上下移动，并且通过齿轮组联动活塞轴转动，从而带动多轴毛刷连续转动，继而能实现对晶圆本体上表面进行清洗。 |
