一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202123287231.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216606440U | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN216606440U | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | B08B5/02（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 辛长林;阚云峰;刘洪刚 | 申请（专利权）人 | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 代理机构 | 西安赛嘉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 247100安徽省池州市直属园区经济技术开发区金安园区金同路69号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于在线监测技术的半导体零部件清洗装置，包括箱体，所述箱体的外侧壁固定安装有步进电机，所述步进电机电机轴的右端贯穿箱体侧壁并固定连接有安装框架，所述安装框架内的底面设有清洗网盒，所述清洗网盒的上表面设有网盒盖板，所述安装框架的上表面左右对称设有定位板，且定位板与网盒盖板的上表面相抵，所述定位板和安装框架靠近前端的位置均开设有安装孔，且安装孔的内部设有紧固螺栓，所述紧固螺栓的螺头外侧套设有限位套，且限位套固定安装在定位板的上表面，通过设置安装框架和清洗网盒，进而将清洗网盒安装在安装框架的内部，进而实现对半导体零部件的快速上料和下料。 |
