一种激光系统用光学玻璃的无损清洗工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910872550.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110665927B | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN110665927B | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | B08B11/04（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张天行;姚细林;徐旭;孙义可;尹西子;王阳阳 | 申请（专利权）人 | 湖北久之洋红外系统股份有限公司 |
| 代理机构 | 武汉凌达知识产权事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 刘念涛;宋国荣 |
| 地址 | 430223湖北省武汉市江夏区庙山开发区明泽街9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种激光系统用超光滑光学玻璃的无损清洗工艺，包括弱酸浸泡、纯水漂洗、疵病检测、有机洗剂清洗、纯水漂洗、IPA脱水、IPA慢提拉干及洁净度检测等步骤；本发明的步骤是通过弱酸溶剂浸泡及超声清洗的方式软化基片表面残留物，随后利用纯水进行漂洗，纯水漂洗完成后利用有机溶剂超声清洗，去除表面的酸性洗剂残留，随后再次利用纯水漂洗去除表面残留的有机溶剂，纯水漂洗完成后利用IPA进行超声脱水，最后利用IPA高温蒸汽进行烘干，去除表面的IPA残留，实现超光滑光学玻璃的无损清洗，清洗完成后，利用光学显微镜进行实时检测，保证清洗工序的重复一致性。 |
