一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰
基本信息
| 申请号 | CN201620231887.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205556855U | 公开（公告）日 | 2016-09-07 |
| 申请公布号 | CN205556855U | 申请公布日 | 2016-09-07 |
| 分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 高佑君;李志强;代小波;王光明 | 申请（专利权）人 | 独山晶科光电信息材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京联创佳为专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 独山晶科光电信息材料有限公司 |
| 地址 | 558200 贵州省黔南布依族苗族自治州独山县独山经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，包括有法兰本体（1），法兰本体（1）内设有导流槽（6），法兰本体（1）上设有与导流槽（6）导通的冷却水入口（2）和冷却水出口（3），法兰本体（1）的通孔内设有支撑架（5），支撑架（5）上连接有若干过滤板（4）。本实用新型具有能减缓密封垫圈老化损坏速度，延长密封垫圈的使用寿命，能凝结部分抽出气体中的挥发物，降低挥发物对真空泵的性能和寿命的影响的有益效果。 |
