一种减少导模法生长管状蓝宝石晶体开裂的收尾方法

基本信息

申请号 CN201410024533.3 申请日 -
公开(公告)号 CN103726101B 公开(公告)日 2016-04-13
申请公布号 CN103726101B 申请公布日 2016-04-13
分类号 C30B15/24(2006.01)I;C30B15/34(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I;C30B29/66(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 朱雁风;钱梅仙;袁涛;张寒贫;杜小红 申请(专利权)人 江苏苏博瑞光电设备科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 221200 江苏省徐州市睢宁县经济开发区中央大街18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种减少导模法生长管状蓝宝石晶体开裂的收尾方法,包括:步骤S01,降低生长功率;步骤S02,通过限定频率和幅度逐渐升高生长功率;步骤S03,逐渐增加提拉速度;步骤S04,当管状蓝宝石晶体壁壁厚在预设壁厚范围内时,增加提拉速度,提拉晶体使晶体逐渐脱离模具;步骤S05,逐渐降低生长功率;步骤S06,自动降温。与现有技术相比,本发明使得管状蓝宝石晶体可以完美收尾,不产生开裂,增加了管状蓝宝石晶体成品率。