电子和离子的等离子体源

基本信息

申请号 CN201620335040.6 申请日 -
公开(公告)号 CN205609471U 公开(公告)日 2016-09-28
申请公布号 CN205609471U 申请公布日 2016-09-28
分类号 H01J37/32(2006.01)I;H05H1/24(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 于宝海;谢广亮 申请(专利权)人 沈阳伊贝姆科技有限公司
代理机构 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 代理人 张晨
地址 110015 辽宁省沈阳市沈河区凌云街35号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种电子和离子的等离子体源,包括:空心阴极、空心阴极法兰、陶瓷绝缘子Ⅰ、筒形阳极、陶瓷绝缘子Ⅱ、发射体阴极法兰、陶瓷绝缘子Ⅲ、主法兰、等离子体源外壳、加速电极法兰、加速电极、发射体阴极、发射体阴极固定器、永磁体、永磁体固定器;空心阴极包括由铁氧体磁性钢制成的空心阴极外壳、难熔金属制成的小管、等离子体生成室、工作气体供给管道和等离子体衰减室,发射体阴极包括由铁氧体磁性钢制成的发射体阴极外壳和设于由铁氧体磁性钢制成的发射体阴极外壳内部的难熔金属制成的嵌块,难熔金属制成的嵌块内部上端开设有锥形凹槽,其下端设有与锥形凹槽连通的发射孔。本实用新型寿命长、稳定性强、效率高。